丰盛装备高产能PECVD实现突破!

笔者近日从某业内主流电池片厂了解到,深圳丰盛装备股份有限公司生产的新型HPE450型PECVD,量产工艺已取得重大突破!单管装片量达到432片,业内最高;工艺时间缩短到29分钟,远低于行业目前的35~38分钟,业内唯一一家将大管径PECVD量产工艺做到30分钟以下;PECVD最关键指标膜厚均匀性也真
Admin     2018-1-12 20:03:02
  笔者近日从某业内主流电池片厂了解到,深圳丰盛装备股份有限公司生产的新型HPE450型PECVD,量产工艺已取得重大突破!单管装片量达到432片,业内最高;工艺时间缩短到29分钟,远低于行业目前的35~38分钟,业内唯一一家将大管径PECVD量产工艺做到30分钟以下;PECVD最关键指标膜厚均匀性也真正做到低于4%,实际综合产能较业内同类产品高15%以上,单机年产能达175MW。为电池生产提供了新的装备利器,为中国光伏行业量产技术引领世界又一次作出了实质性贡献!

  笔者经多方了解得知,除上述几大关键领先优势,一直沉稳低调而又严谨进取的丰盛装备技术团队依据自身在半导体及光伏设备领域雄厚的技术积累,历时两年卧薪尝胆、潜心研发的此款设备拥有完全的自主知识产权,在自动装载模式、真空密封结构、反映腔室气流设计及量产工艺革新等方面融合了多项创新技术,使工艺过程中热损失更少、回温更快,有效降低了反应腔内气流阻、能耗和操作区温度,可显著降低客户的建线和使用成本,在如今电池制造环节一分一厘计较降本的时候,无疑来得正是时候。使国产光伏设备在管式PECVD领域再次站在行业前沿,全球领先!











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